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Germanium auf Si-Dioxid


Bilder einer annealten Si-Wire Probe, die in situ mit Ge bedeckt wurde.
(a) Die dunkleren Gebiete kennzeichen Stellen, wo sich Löcher im SiO2 gebildet haben und das Ge dadurch poykristallin aufwuchs (p-Ge).
(b) TEM Bild in Hochauflösung. Die Oxidlöcher sind mit polykristalli nem Ge dekoriert, das dunkler erscheint als das amorphe Ge (a-Ge)
  • "Transient-enhanced Si diffusion on native-oxide-covered Si(001) nanostructure s during vacuum annealing"
    H. Lichtenberger, M. Mühlberger, F. Schäffler
    Appl. Phys. Lett. 82 (21) 3650 (2003)